Das kundenspezifische System ermöglicht die Positionierung einer Optik in einem Feld von 200x200mm. Als Antrieb werden zwei Linearmotorachsen mit magnetischem Messsystem eingesetzt. Damit wird eine Positioniergenauigkeit von circa +/- 5µm in X/Y bei einer Zykluszeit von deutlich unter 1sec erreicht.Die graphische Benutzeroberfläche ist entsprechend der Kundenanforderungen aufgebaut. Als Datenschnittstelle kommt zusätzlich JSON zum Einsatz.

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2-Achs Linearmotorsystem

Das Batchumhordetool ermöglicht den manuellen Wafertransfer aus einem 25er 12" SEMI E47.1 Foup in zwei 13er Horden. Die 25 Wafer werden dabei in einen 12er und einen 13er Batch gesplittet. Der Prozess ist ebenso in umgekehrter Reihenfolge möglich.<picture data-float="none"><img src="https://media.rapidon.de/upload/GM-Foto0065.jpg" alt="" title="GM-Foto0065" width="100%" height="auto" draggable="false" contenteditable="false"></picture>

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2-Achs Linearmotorsystem

Batchumhorder