Batchumhorder

Das Batchumhordetool ermöglicht den manuellen Wafertransfer aus einem 25er 12" SEMI E47.1 Foup in zwei 13er Horden. Die 25 Wafer werden dabei in einen 12er und einen 13er Batch gesplittet. Der Prozess ist ebenso in umgekehrter Reihenfolge möglich.